PEEK晶片夹、硅片镊子可在260℃温度下长期使用,在高温下能保持较高的强度,尺寸稳定性较好,线胀系数较小,同时耐滑动磨损和微动磨损、低摩擦系数等性能优异,用PEEK晶片夹夹取晶圆、硅片的时候,不会对晶圆、硅片的表面产生划痕,不会因摩擦而对晶圆、硅片产生残留物,从而提高了晶圆、硅片的表面洁净度。
该晶片夹为PEEK材料,由上夹块和下夹块组成,所述下夹块的长度大于上夹块的长度,所述上夹块前端和下夹块前端构成夹持部,所述上夹块后端和下夹块后端构成手持部,且所述上夹块后端和下夹块后端固定连接,所述下夹块前端的左右两边还设置有放置晶片中心区域的限位柱。该晶片夹结构简单,容易操作,而且能够避开晶片中心区域,适用双面匀胶显影工艺;采用PEEK材料制成,能够使晶片保持纯度,且无杂质析出,无污染,耐高温。